證券時報
吳家明
2024-09-29 23:55
“截至2024年半年度末，公司累計出貨超過1940個反應(yīng)腔，預(yù)計2024年全年出貨超過1000個反應(yīng)腔，將創(chuàng)歷史新高。”9月25日，拓荊科技(688072)董秘趙曦告訴證券時報記者，截至2024年第二季度末，拓荊科技發(fā)出商品余額31.62億元，較2023年末發(fā)出商品余額19.34億元增長63.50%，為后續(xù)的收入增長奠定良好基礎(chǔ)。目前，拓荊科技的在手訂單充足，未來業(yè)績增長具備堅實的基礎(chǔ)。
拓荊科技是國內(nèi)量產(chǎn)型PECVD（等離子體增強化學(xué)氣相沉積）、ALD（原子層沉積）、SACVD（次常壓化學(xué)氣相沉積）、HDPCVD（高密度等離子體增強化學(xué)氣相沉積）、超高深寬比溝槽填充CVD等薄膜沉積設(shè)備和混合鍵合設(shè)備的領(lǐng)軍企業(yè)。拓荊科技目前已經(jīng)形成半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備和混合鍵合設(shè)備兩個產(chǎn)品系列。拓荊科技聚焦的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備與光刻機、刻蝕機共同構(gòu)成芯片制造三大主設(shè)備。
拓荊科技主打產(chǎn)品PECVD設(shè)備以良好的穩(wěn)定性、高產(chǎn)能及優(yōu)異的薄膜工藝指標(biāo)等特點持續(xù)保持競爭優(yōu)勢，獲得客戶復(fù)購和批量訂單，不斷擴大量產(chǎn)規(guī)模；在ALD設(shè)備方面，拓荊科技PE-ALD SiO2、SiN等薄膜均已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，并不斷擴大量產(chǎn)規(guī)模，Thermal-ALD設(shè)備已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，并持續(xù)獲得訂單，同時有多種不同薄膜工藝應(yīng)用在不同客戶端驗證；溝槽填充設(shè)備SACVD和HDPCVD已實現(xiàn)批量出貨，持續(xù)擴大量產(chǎn)規(guī)模；新推出的超高深寬比溝槽填充CVD設(shè)備已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。目前拓荊科技溝槽填充系列產(chǎn)品可以滿足不同芯片技術(shù)節(jié)點對不同溝槽填充的技術(shù)需求。截至目前，拓荊科技的薄膜沉積設(shè)備可以支撐邏輯芯片、存儲芯片中所需的全部介質(zhì)薄膜材料的約100多種工藝應(yīng)用。
“在混合鍵合設(shè)備方面，拓荊科技對晶圓對晶圓混合鍵合設(shè)備、芯片對晶圓鍵合表面預(yù)處理設(shè)備進(jìn)行持續(xù)優(yōu)化升級，拓展了市場應(yīng)用。此外，拓荊科技自主研發(fā)了鍵合套準(zhǔn)精度量測產(chǎn)品已獲得客戶訂單，并積極推進(jìn)芯片對晶圓混合鍵合設(shè)備的研發(fā)。”據(jù)趙曦介紹。
據(jù)了解，拓荊科技近年來持續(xù)突破核心技術(shù)，推進(jìn)各系列產(chǎn)品的迭代升級與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，產(chǎn)品市場競爭力持續(xù)增強，經(jīng)營業(yè)績保持較高速度的增長，2023年度，拓荊科技營業(yè)收入達(dá)到27.05億元，同比增長59%，2018年至2023年復(fù)合增長率達(dá)到107%。
值得一提的是，2024年上半年，拓荊科技研發(fā)投入金額達(dá)到3.14億元，同比增加50%，研發(fā)投入占營業(yè)收入比例高達(dá)24.81%，多年來的研發(fā)投入占營業(yè)收入的比例均在20%以上。截至2024年半年度末，拓荊科技研發(fā)人員數(shù)量達(dá)到506人，同比增加102人，研發(fā)人員數(shù)量占拓荊科技總?cè)藬?shù)的比例為40.38%。
2024年上半年，拓荊科技不斷拓展新產(chǎn)品及新工藝：首臺PECVD Bianca工藝設(shè)備通過客戶驗證，實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，超過25個PECVD Bianca工藝設(shè)備反應(yīng)腔獲得訂單；首臺高深寬比溝槽填充CVD產(chǎn)品通過客戶驗證，與超高深寬比溝槽填充CVD設(shè)備相關(guān)的反應(yīng)腔累計出貨超過15個；鍵合套準(zhǔn)精度量測產(chǎn)品Crux 300已獲得客戶訂單；兩款新型設(shè)備平臺（PF-300T Plus和PF-300M）和兩款新型反應(yīng)腔（pX和Supra-D）持續(xù)獲得客戶訂單并出貨至多個客戶端，累計超過180個新型反應(yīng)腔（pX和Supra-D）獲得客戶訂單，超過130個反應(yīng)腔出貨至客戶端驗證。
“未來，拓荊科技將繼續(xù)不斷加大研發(fā)力度，拓展新產(chǎn)品、新工藝，完善產(chǎn)業(yè)布局，推進(jìn)公司高質(zhì)量發(fā)展。”趙曦表示。
