“截至2024年半年度末,公司累計出貨超過1940個反應(yīng)腔,預(yù)計2024年全年出貨超過1000個反應(yīng)腔,將創(chuàng)歷史新高。”9月25日,拓荊科技(688072)董秘趙曦告訴證券時報記者,截至2024年第二季度末,拓荊科技發(fā)出商品余額31.62億元,較2023年末發(fā)出商品余額19.34億元增長63.50%,為后續(xù)的收入增長奠定良好基礎(chǔ)。目前,拓荊科技的在手訂單充足,未來業(yè)績增長具備堅實的基礎(chǔ)。
拓荊科技是國內(nèi)量產(chǎn)型PECVD(等離子體增強化學(xué)氣相沉積)、ALD(原子層沉積)、SACVD(次常壓化學(xué)氣相沉積)、HDPCVD(高密度等離子體增強化學(xué)氣相沉積)、超高深寬比溝槽填充CVD等薄膜沉積設(shè)備和混合鍵合設(shè)備的領(lǐng)軍企業(yè)。拓荊科技目前已經(jīng)形成半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備和混合鍵合設(shè)備兩個產(chǎn)品系列。拓荊科技聚焦的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備與光刻機、刻蝕機共同構(gòu)成芯片制造三大主設(shè)備。
拓荊科技主打產(chǎn)品PECVD設(shè)備以良好的穩(wěn)定性、高產(chǎn)能及優(yōu)異的薄膜工藝指標(biāo)等特點持續(xù)保持競爭優(yōu)勢,獲得客戶復(fù)購和批量訂單,不斷擴大量產(chǎn)規(guī)模;在ALD設(shè)備方面,拓荊科技PE-ALD SiO2、SiN等薄膜均已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,并不斷擴大量產(chǎn)規(guī)模,Thermal-ALD設(shè)備已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,并持續(xù)獲得訂單,同時有多種不同薄膜工藝應(yīng)用在不同客戶端驗證;溝槽填充設(shè)備SACVD和HDPCVD已實現(xiàn)批量出貨,持續(xù)擴大量產(chǎn)規(guī)模;新推出的超高深寬比溝槽填充CVD設(shè)備已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。目前拓荊科技溝槽填充系列產(chǎn)品可以滿足不同芯片技術(shù)節(jié)點對不同溝槽填充的技術(shù)需求。截至目前,拓荊科技的薄膜沉積設(shè)備可以支撐邏輯芯片、存儲芯片中所需的全部介質(zhì)薄膜材料的約100多種工藝應(yīng)用。
“在混合鍵合設(shè)備方面,拓荊科技對晶圓對晶圓混合鍵合設(shè)備、芯片對晶圓鍵合表面預(yù)處理設(shè)備進(jìn)行持續(xù)優(yōu)化升級,拓展了市場應(yīng)用。此外,拓荊科技自主研發(fā)了鍵合套準(zhǔn)精度量測產(chǎn)品已獲得客戶訂單,并積極推進(jìn)芯片對晶圓混合鍵合設(shè)備的研發(fā)。”據(jù)趙曦介紹。
據(jù)了解,拓荊科技近年來持續(xù)突破核心技術(shù),推進(jìn)各系列產(chǎn)品的迭代升級與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,產(chǎn)品市場競爭力持續(xù)增強,經(jīng)營業(yè)績保持較高速度的增長,2023年度,拓荊科技營業(yè)收入達(dá)到27.05億元,同比增長59%,2018年至2023年復(fù)合增長率達(dá)到107%。
值得一提的是,2024年上半年,拓荊科技研發(fā)投入金額達(dá)到3.14億元,同比增加50%,研發(fā)投入占營業(yè)收入比例高達(dá)24.81%,多年來的研發(fā)投入占營業(yè)收入的比例均在20%以上。截至2024年半年度末,拓荊科技研發(fā)人員數(shù)量達(dá)到506人,同比增加102人,研發(fā)人員數(shù)量占拓荊科技總?cè)藬?shù)的比例為40.38%。
2024年上半年,拓荊科技不斷拓展新產(chǎn)品及新工藝:首臺PECVD Bianca工藝設(shè)備通過客戶驗證,實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,超過25個PECVD Bianca工藝設(shè)備反應(yīng)腔獲得訂單;首臺高深寬比溝槽填充CVD產(chǎn)品通過客戶驗證,與超高深寬比溝槽填充CVD設(shè)備相關(guān)的反應(yīng)腔累計出貨超過15個;鍵合套準(zhǔn)精度量測產(chǎn)品Crux 300已獲得客戶訂單;兩款新型設(shè)備平臺(PF-300T Plus和PF-300M)和兩款新型反應(yīng)腔(pX和Supra-D)持續(xù)獲得客戶訂單并出貨至多個客戶端,累計超過180個新型反應(yīng)腔(pX和Supra-D)獲得客戶訂單,超過130個反應(yīng)腔出貨至客戶端驗證。
“未來,拓荊科技將繼續(xù)不斷加大研發(fā)力度,拓展新產(chǎn)品、新工藝,完善產(chǎn)業(yè)布局,推進(jìn)公司高質(zhì)量發(fā)展。”趙曦表示。